PECVD等离子化学气相沉淀系统 PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入···
真空炉
1200℃系列管式炉 1、mini型真空管式炉,机身灵活小巧,可随意摆放,不占用实验室大量空间。2、较小的炉···
RTP快速退火炉 此款小型快速退火炉是集成仪最巧妙的结构设计和独特的加热方式与一体,使得体积和功率···